国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B01(5)
IPC小类 B32B(5)
IPC C23C016/26(5)
发明人 CHOI J(2) CHOI J Y(2) CHOI K(2)
HEIGHT M(2) PARK H(2) PARK H G(2)
SHIN H(2) SHIN H J(2) YOON S(2)
YOON S M(2)
公开年 2012(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 HEIQ MATERIA.(2) SAMSUNG ELEC.(2)