国家/地区 | 美国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(2) 韩国(2) 台湾(2) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(5) |
申请年 |
2015(5)![]() |
专利权人 |
UEKUSA K, SHIMADA N, YAZAWA K, YAMADA T, HASEGAWA M, SHIMADA NAYUTA, YAZAWA KENJI, YAMADA TAKATOSHI, HASEGAWA MASATAKA, UEKUSA KAZUTERU
WAN S K, HEE H J, HEE H B, KIM W S, HAN J H, HONG B H
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K