国家/地区 | 中国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 西班牙(2) 韩国(2) 台湾(2) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2012(2) |
申请年 | 2011(2) |
专利权人 |
CHIBA YOSHIHIRO, CHIBA Y, CHIBA G, YOSHIHIRO C
ZENASNI A, CORAUX J, IVANOVAHRISTOVA V, LANDIS S, PERNEL C