国家/地区 | 中国(5) 韩国(4) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B32(6)![]() |
IPC小类 |
B32B(6)![]() |
IPC |
C23C014/34(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(3) |
申请年 | 2016(2) |
专利权人 |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
GU Z, LI Y, WU H, HANG Y
JEON M, CHOI H, HWANG S, KIM H, JEON M H, CHOI H K, HWANG S H, KIM H K