国家/地区 日本(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) B82(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(3) H01L029/06(3) H01L029/786(3)
B82Y040/00(2) H01B001/04(2) H01L021/28(2)
H01L021/336(2) H01L029/16(2) H01L029/40(2)
发明人 OKAI M(4)
公开年 2010(2) 2011(2)
申请年 2010(3) 
专利权人 HITACHI LTD(4) OKAI M(3) HIROOKA M(2) WADA Y(2)