国家/地区 |
日本(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)
H01(4)
B82(2)
|
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C01B031/02(3)
H01L029/06(3)
H01L029/786(3)
B82Y040/00(2) H01B001/04(2) H01L021/28(2) H01L021/336(2) H01L029/16(2) H01L029/40(2) |
发明人 |
OKAI M(4)![]() |
公开年 | 2010(2) 2011(2) |
申请年 | 2010(3) |
专利权人 |
HITACHI LTD(4)
OKAI M(3)
HIROOKA M(2)
WADA Y(2)
|
OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M
OKAI M, HIROOKA M, WADA Y, IWAI Y, HONMA S, ASHIGAHARA T, TAKAYUKI A, YOSHIAKI I, SHUNICHI H, HIROKA M, HOMMA S