国家/地区 美国(27)
IPC部 C(27)
IPC大类 C01(27) B82(25) H01(14)
B01(9) B32(9) C09(4)
B05(3) C07(2) C22(2)
C23(2) F16(2) H05(2)
IPC小类 C01B(27)
IPC C01B031/00(27)
发明人 HIROHASHI T(2)
公开年 2012(27)
申请年 2011(13)  2012(12)  2010(2) 
专利权人 KOREA INST S.(2) SAMSUNG ELEC.(2) SEMICONDUCTO.(2)