国家/地区 中国(5) 日本(5) 美国(5) 世界知识产权组织(4) 韩国(3) 德国(2) 以色列(2) 新加坡(2) 台湾(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) H01(4) B82(3)
B01(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B032/198(5)
发明人
公开年 2012(5)
申请年 2012(3)  2011(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)