国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) C23(5) H01(3)
B05(2) B82(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C014/24(5)
发明人
公开年
申请年 2015(2) 
专利权人