国家/地区 日本(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) C23(3) H01(3)
C25(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C026/00(3)
发明人
公开年 2015(2)
申请年 2014(3)
专利权人