国家/地区 | 美国(4) 世界知识产权组织(4) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) 2014(2) |
申请年 |
2013(4)![]() |
专利权人 |
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K