国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) C07(6) H01(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B032/198(6)
发明人 YAMAKAJI M(2)
公开年 2018(2)
申请年
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)