国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) C25(4) B82(3)
H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(4)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2012(3) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)