| 国家/地区 |
中国(3)
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| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 |
C01(3)
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| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC |
C23C014/16(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
WANG M, LI J, LI K, BIAN M, ZHANG C, LIN Q, FU H, LIU Z
LI L, ZHANG W, DONG L, HUO W, LI X, CHANG G
