国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C30B(3)
IPC C30B025/18(2) C30B029/02(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(3)
申请年 2017(2) 
专利权人