国家/地区 英国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) H01(3)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B032/182(2) C01B032/186(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人 DIXON S(3) GUINEY I(3) GRIFFIN R M(2)
THOMAS S(2)
公开年 2022(6)
申请年 2021(6)
专利权人 PARAGRAF LTD(3)