国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C30(3) H01(2)
IPC小类 C30B(3)
IPC C30B025/18(3) H01L021/02(2)
发明人 ZHANG J(3)
公开年 2020(2)
申请年 2018(3)
专利权人