| 国家/地区 |
德国(4)
|
| IPC部 |
C(4)
|
| IPC大类 |
C23(4)
B82(3)
C01(3)
B32(2) H01(2) |
| IPC小类 |
C23C(4)
B82Y(3)
B32B(2)
B82B(2) C01B(2) C23F(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/02(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
KARCH C, LENCZOWSKI B, OSTROVSKY I
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
