| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(3)
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| IPC部 |
B(3)
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| IPC大类 |
C23(3)
B01(2)
B05(2)
B22(2) B82(2) C01(2) C25(2) H01(2) |
| IPC小类 |
C23C(3)
B01J(2)
B05D(2)
B22F(2) B82Y(2) C01B(2) C25D(2) H01L(2) H01M(2) |
| IPC |
C23C018/12(3)
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| 发明人 | GABEN F(2) |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 |
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S
