国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5) C01(5) B32(4)
H01(4) G01(3) B05(2)
C09(2) C23(2)
IPC小类 B82Y(5) C01B(5) B32B(4)
G01N(3) H01B(3) B05D(2)
C23F(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(5)
发明人
公开年 2009(2) 2010(2)
申请年 2009(5)
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J