国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) G02(5) B32(4)
C01(4) H01(3) B82(2)
H05(2)
IPC小类 C23C(5) G02F(5) B32B(4)
C01B(4) H01L(3) B82Y(2)
G02B(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2013(5)
申请年 2013(3)  2012(2) 
专利权人

KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C