国家/地区 |
美国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)
G02(5)
B32(4)
C01(4) H01(3) B82(2) H05(2) |
IPC小类 |
C23C(5)
G02F(5)
B32B(4)
C01B(4) H01L(3) B82Y(2) G02B(2) |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(5)![]() |
申请年 | 2013(3) 2012(2) |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
OEZYILMAZ B, NI G X, ZHENG Y, OZYILMAZ B, OEZYILMAZ B
LI G, WANG Y, LEE K
KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S