国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4) H01(3) B32(2)
B82(2) C01(2) G02(2)
IPC小类 C23C(4) B32B(2) B82Y(2)
C01B(2) G02F(2) H01G(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人 OEZYILMAZ B(2) OZYILMAZ B(2) WANG Y(2)
公开年 2013(2) 2014(2)
申请年 2013(4)
专利权人 SHENZHEN CHI.(2) UNIV SINGAPO.(2) WANG Y(2)