国家/地区 韩国(3)
IPC部 H(4)
IPC大类 H01(4) C01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/04(3) H01L029/16(2)
发明人 LEE S H(2)
公开年 2017(3)
申请年 2016(4)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)