国家/地区 美国(5) 韩国(3) 中国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) C30B(3)
H01L(3) C25D(2) H01G(2)
IPC C23C014/34(5)
发明人
公开年 2016(4)
申请年 2016(5)
专利权人