国家/地区 | 美国(5) 韩国(3) 中国(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)
C23C(5)
C30B(3)
H01L(3) C25D(2) H01G(2) |
IPC |
C23C014/34(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(4) |
申请年 |
2016(5)![]() |
专利权人 |
YOON S, PARK B, YOON S G, PARK B J
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J