国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4) C23C(3) H01L(3)
B32B(2) B82Y(2) C23F(2)
C25B(2) H01B(2) H01G(2)
IPC C01B032/182(4)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2012(3) 
专利权人