国家/地区 韩国(5) 美国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) H01(4) B82(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/02(5) B82B001/00(2) B82B003/00(2)
H01L051/50(2)
发明人 HONG J(2) HONG J M(2) KIM C K(2)
KIM S I(2) KIM Y H(2) KIM Y T(2)
LIM J A(2) SONG Y(2) SONG Y W(2)
公开年 2014(5)
申请年 2013(3) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)