国家/地区 |
世界知识产权组织(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)
C01B032/186(2)
C23C016/02(2)
H01J037/32(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2023(4)![]() |
申请年 | 2021(2) 2022(2) |
专利权人 |
JOUIAD M, EL MARSSI M, LEJEUNE M
ENTERKIN J A, WORFOLK B J, ZHANG L