| 国家/地区 |
中国(5)
|
| IPC部 |
B(5)
C(5)
H(4)
|
| IPC大类 |
B05(5)
|
| IPC小类 |
B05D(5)
C23C(5)
B82Y(4)
C01B(4) H01L(3) B32B(2) C01G(2) C25D(2) H01M(2) |
| IPC |
C23C016/56(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
CHEN X, LI Z, WANG M, MA Y
WANG W, GUO S, OZKAN C S, OZKAN M
CHOI B, LEE E, WHANG D, CHOI B L, LEE E K, WHANG D M, CHOE P, HWANG T
