国家/地区 |
德国(6)![]() |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B32(6)![]() |
IPC小类 |
B32B(6)
C01B(4)
B82Y(3)
H01L(3) C23C(2) |
IPC |
B32B009/00(3)
C01B031/02(3)
C01B031/04(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) H01L021/04(2) H01L029/78(2) |
发明人 | |
公开年 | 2012(4) 2013(2) |
申请年 |
2011(6)![]() |
专利权人 | INT BUSINESS.(3) |
AFZALIARDAKANI A, MAAROUF A, MARTYNA G J, SAENGER K, AFZALIARDAKANI A C O I
CHO H C, LEE S H, LEE D S, KANG K H, CHEOL C H, HUN L S, SU L D, HO G G, KANG K, LEE D, LEE S, CHO H