国家/地区 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 韩国(3) 台湾(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) B32B(2)
B82B(2) B82Y(2) C04B(2)
C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(5)
发明人
公开年 2015(5)
申请年 2013(2)  2014(2) 
专利权人