国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6) C25F(6) B32B(5)
B82Y(3) C25B(3) H01L(3)
C23C(2) C25D(2)
IPC C25F005/00(6)
发明人 HUYGHEBAERT C(2)
公开年 2015(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 IMEC VZW(2)