| 国家/地区 |
日本(4)
|
| IPC部 |
C(4)
|
| IPC大类 |
C01(4)
|
| IPC小类 |
C01B(4)
|
| IPC |
C01B031/02(3)
H01L029/06(3)
H01L029/786(3)
B82Y040/00(2) H01B001/04(2) H01L021/28(2) H01L021/336(2) H01L029/16(2) H01L029/40(2) |
| 发明人 |
OKAI M(4)
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| 公开年 | 2010(2) 2011(2) |
| 申请年 | 2010(3) |
| 专利权人 |
HITACHI LTD(4)
OKAI M(3)
HIROOKA M(2)
WADA Y(2)
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OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M
OKAI M, HIROOKA M, WADA Y, IWAI Y, HONMA S, ASHIGAHARA T, TAKAYUKI A, YOSHIAKI I, SHUNICHI H, HIROKA M, HOMMA S
