国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 H01J(5)
IPC B01J019/00(2) C01B031/04(2) C01B032/184(2)
H01J037/32(2)
发明人
公开年 2017(5)
申请年 2016(3)  2017(2) 
专利权人