国家/地区 韩国(8) 中国(4)
IPC部 B(13)
IPC大类 B01(13)
IPC小类 B01J(13)
IPC C01B031/04(7) B01J019/10(3) B01J020/20(3)
C01B032/184(3) B01J023/52(2) B01J037/34(2)
G03F007/004(2)
发明人 BAI L(2) HUH Y S(2) JANG S C(2)
ROH C H(2)
公开年 2017(13)
申请年 2016(7)  2015(3)  2017(3) 
专利权人 UNIV INHA RE.(2)