国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)
C23C(5)
B82Y(3)
H01L(3) B32B(2) C25D(2) C30B(2) |
IPC |
C23C028/00(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S
ZURUTUZA E A, CENTENO P A, ALONSO R B, PESQUERA R A, ALONSO RODRIGUEZ B, CENTENO PEREZ A, ZURUTUZA ELORZA A, PESQUERA RODRIGUEZ A, AMAIA Z E, ALBA C P, BEATRIZ A R, AMAIA P R