国家/地区 |
美国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C09(3)![]() |
IPC小类 |
C09D(3)![]() |
IPC | C09D011/52(2) G03F007/11(2) |
发明人 | |
公开年 |
2015(3)![]() |
申请年 | 2015(2) |
专利权人 |
FRANCIS L F, FRISBIE C D, HERSAM M C, HYUN W J, LIM S, SECOR E B
KIM H, PARK C H, OKAYASU T, WANG X, PAWLOWSKI G, HAMA Y, KIM H W, WANG X W, XIAOWEI W, GEORG P, YUSUKE H