国家/地区 美国(3) 中国(2) 日本(2) 台湾(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 C30B(3) B82B(2) B82Y(2)
C01B(2) C23C(2) C23F(2)
H01L(2)
IPC C30B025/18(3)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2012(3)
专利权人