国家/地区 韩国(3) 美国(2)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C016/44(2) C23C016/455(2)
发明人 CHO B J(2) MUN J H(2)
公开年 2014(3)
申请年 2013(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(3)