国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6) H(5) B(2)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6) C01B(4) H01B(4)
H01L(3) B05D(2) B32B(2)
B82Y(2)
IPC C23C016/26(5) C01B031/02(4) C01B031/04(3)
B05D005/12(2) B32B009/00(2) B82Y040/00(2)
C23C016/06(2) C23C016/44(2) H01B001/04(2)
H01L021/02(2)
发明人 CHO B J(2) JEON S(2) KIM S O(2)
LEE D H(2) LEE J(2) MUN J H(2)
公开年 2012(2) 2014(2)
申请年 2013(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(6)