国家/地区 韩国(3) 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) B01J(2)
H01L(2)
IPC C01B032/184(3)
发明人 PARK J(2) PARKJAEHYUN(2)
公开年
申请年 2018(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(3)