国家/地区 | 韩国(3) 美国(3) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C01(3)![]() |
IPC小类 |
C01B(3)
C23C(3)
B01J(2)
H01L(2) |
IPC |
C01B032/184(3)![]() |
发明人 | PARK J(2) PARKJAEHYUN(2) |
公开年 | |
申请年 | 2018(2) |
专利权人 |
KOREA INST SCI TECHNOLOGY(3)![]() |
PARK J, SIM Y, KIM J, SIM Y M, PARKJAEHYUN