国家/地区 | 韩国(5) 美国(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)
C09D(2)
H01L(2)
|
IPC | C23C016/26(2) |
发明人 | |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2020(3) |
专利权人 |
KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)![]() |
LEE K B, NAM Y, NAM J H, YOON S, LEE Y, NAH I W, OH I H
KIM M J, JANG S G, AHN S, TAE Y H, KIM J H, KIM H
LEE D, PARK J, PARKJAEHYUN, LEE D J