国家/地区 韩国(5) 美国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C09D(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(2)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2020(3) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)