国家/地区 美国(3) 中国(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) B82Y(2) C01B(2)
H01L(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C01B031/04(2) C23C016/26(2)
发明人 JUNG H(3)
公开年 2011(2)
申请年 2010(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)

BAE S, CHUNG H, HEO J, JUNG M, KANG S, SEO D, SEO S, WOO Y, BAE S K, CHUNG H J, HEO J S, JUNG M H, KANG S R, SEO S A, WOO Y S, JUNG H J, HUH J S, YEO R, HUH J, JUNG H