国家/地区 |
韩国(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)
C23C(4)
H01L(2)
|
IPC |
C01B032/05(4)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(4)![]() |
申请年 | 2020(3) |
专利权人 |
HYUN L J, HUNSOO P, LEE S, HEE L, LIM J
OEZYILMAZ B, TOH C T, ABIDI I H, OJIYLMAZ B, TOH C, ZHUO Z, OZYILMAZ B
MAKOTO W, TAKASHI M, NOBUTAKE K, RYOTA I, MASAHITO S, HIROKAZU U, MATSUMOTO T, KABURAGI N, IFUKU R, SUGIURA M, UEDA H, WADA M, KABUKI N