| 国家/地区 | 中国(3) 美国(2) |
| IPC部 |
C(5)
B(2)
G(2)
H(2) |
| IPC大类 |
C01(5)
|
| IPC小类 |
C01B(5)
C23C(5)
B82Y(2)
H01L(2) |
| IPC |
C01B032/184(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2019(5)
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| 申请年 | 2019(4) |
| 专利权人 |
SONG Y, UDDIN M S, PARK J, PARKJAEHYUN
