| 国家/地区 | 中国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) |
| IPC部 |
B(5)
|
| IPC大类 |
C23(5)
|
| IPC小类 |
C23C(5)
C01B(4)
B23K(2)
B82Y(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C014/28(5)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | 2022(3) |
| 申请年 | 2022(2) |
| 专利权人 |
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D
KANG T, LIN L, ZHU L, SUN J, HUANG Y, YANG Z, GAO X, WU D, ZHAO Z, ZHUANG J
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
