国家/地区 中国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) B23K(2)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C014/28(5)
发明人
公开年 2022(3)
申请年 2022(2) 
专利权人