国家/地区 美国(5) 世界知识产权组织(4) 中国(3) 日本(2) 新加坡(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) B82Y(3) H01L(3)
C01B(2) H01G(2)
IPC C23C016/04(5)
发明人 OEZYILMAZ B(2) OZYILMAZ B(2)
公开年 2014(3) 2013(2)
申请年 2013(5)
专利权人 UNIV SINGAPO.(2)