国家/地区 | 中国(3) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B01(6)![]() |
IPC小类 |
B01J(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(6)![]() |
申请年 | 2020(4) 2021(2) |
专利权人 |
CHENG H, ZHONG S, MO H, ZENG Y, WANG Z, WANG Y, LIU Y, HU M, WU H, CAO Y
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
SINITSKII A, TORRES A, LI G
IONEBRASU D, ANDREI R D, JIANU C, ENACHE S, ENACHE A, CARCADEA E, VARLAM M, JIANU C C