国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C01B(4) B82Y(3)
H01L(3) H01G(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人 ELSAYED K A M(2) LEE C S(2) MAAROUF A A(2)
公开年 2023(5)
申请年 2022(4) 
专利权人 UNIV IMAM AB.(2)