国家/地区 美国(4) 韩国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 B32B(4) C23C(4) C01B(3)
B82Y(2) C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(4) B32B009/00(2) B82Y030/00(2)
C01B031/02(2) C01B031/04(2) C23C016/02(2)
C23C016/56(2)
发明人
公开年 2009(2) 2010(2)
申请年 2008(5)
专利权人