| 国家/地区 | 美国(4) 韩国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) |
| IPC部 |
C(5)
|
| IPC大类 |
C23(5)
|
| IPC小类 |
B32B(4)
C23C(4)
C01B(3)
B82Y(2) C30B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/26(4)
B32B009/00(2)
B82Y030/00(2)
C01B031/02(2) C01B031/04(2) C23C016/02(2) C23C016/56(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2009(2) 2010(2) |
| 申请年 |
2008(5)
|
| 专利权人 |
BARATON L, COJOCARU C S, PRIBAT D, COJOCARU C
CHOI J, SHIN H, YOON S, CHOI J Y, SHIN H J, YOON S M, IN Z
JOHN P, LEE J K, LEE S C, LEE W S, KAP L, KAP L J
