国家/地区 美国(5) 韩国(3) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 B32(5)
IPC小类 B32B(5)
IPC C23C016/26(4) B32B009/00(3) C01B031/02(3)
C01B031/04(3) B44C001/22(2) B82Y030/00(2)
C01B031/00(2) C03C025/68(2) C23C016/02(2)
C23C016/56(2) H01L021/205(2)
发明人
公开年 2009(5)
申请年 2009(3)  2008(2) 
专利权人