| 国家/地区 | 美国（3） |
| IPC部 |
C（3）
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| IPC大类 |
C01（3）
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| IPC小类 |
C01B（3）
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| IPC |
C23C018/12（3）
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2015（3）
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| 申请年 | 2014（2） |
| 专利权人 |
CHENG I, CHEN J, HSU C, CHOU P, LIU H, CHANG H, LIANG S, WU T, CHENG I C, CHEN J Z, HSU C C, CHOU P T, LIU H W, LIANG S P, WU T J
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S
HERSAM M C, LIANG Y T, SECOR E B, PRABHUMIRASHI P L, PUNTAMBEKAR K P, GEIER M L